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此前，台媒《天下杂志》记者曾经专访过ASML执行长皮特·瓦希德（Peter Wennink）。并且，皮特·瓦希德回答了记者这么两个问题。 记者向皮特·瓦希德所提问题之一是：“ASML出自飞利浦，而当年的飞利浦是有名的高度垂直整合，样样自己做，你们为何会走出开放式创新的研究模式？”皮特·瓦希德向记者给出答案，简单来说就是：1984年，荷兰飞利浦当时面临经营困境，不得已在集团内部实施大规模裁员方案。ASML也是在那一年从飞利浦独立了出来。起初，ASML其实非常缺乏技术研究经费，而飞利浦本就自顾不暇，没有能力向ASML提供技术研究经费。ASML要在恶劣市场环境里生存下来，就想到一个好办法，那就是ASML在欧洲甚至全球范围内，主动去找到更多组织机构并与之建立合作关系，从而为自身构建起一个大型技术研究网络。皮特·瓦希德向记者说道：“我们去找政府争取经费，还去找供应商，告诉他们我们的构想是什么，并问他们和我们在技术研究上展开合作好吗？我们一同分享利润。我们因此打造一个很大的研究网络。”
言归正传，日前，台媒《电子时报》记者首次专访了ASML中国区总裁金泳璇（Young-Sun Kim）。金泳璇向记者表示：一方面，中国半导体生产设备市场规模将在未来几年迎来大发展，2018-2019年更是有望呈现跳跃式增长，ASML也将深耕中国市场，还将和中国某些科研机构在技术研究方面开展深度合作。另一方面，ASML对全球各大芯片制造商皆“一视同仁”，只要有一家中国芯片制造商向ASML成功下单EUV光刻机，ASML就能够为这家中国芯片制造商生产出1台甚至多台EUV光刻机。况且，现在已经有家中国芯片制造巨头在和ASML洽谈首台EUV光刻机订单（7nm制程工艺）。“如果最终订单确认，最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂，我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待”。
下文为金泳璇和《电子时报》记者对话原文。问：针对国内市场 、客户，各方现在传出许多声音，听说国内晶圆厂都预定不到EUV光刻机 “有钱难买EUV”？ 请问受到产量的限制，还是相传受到国际条约的外在制约？ 答：首先，我必须澄清这绝非事实。中国本地的晶圆厂与所有国际客户的要求，从ASML而言都是一视同仁的，只要是确认订单，EUV要进口到中国完全没有任何问题。由于EUV零组件多达5万多个部件，从客户下单到正式交货，交期约21个月，这个情况，对每个客户都是完全一致的。 事实上，国内客户已进入7纳米工艺制程技术研究阶段，并且与ASML展开EUV的商谈。如果最终订单确认，最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂，我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待。同时认为一旦一家中国客户采用，其他客户也会快速跟进。
答：毫无疑问摩尔定律会继续下去，但每一制程技术节点之间的时间会延长，技术与资本门槛变得更高。浸润式显影技术走到三重曝光(triple-patterning)阶段，成本已然超过EUV，生产交期更长、技术更为复杂，从量产的性价比角度，EUV在7纳米以下技术节点已属于最适方案。现在EUV光源已经可达250watt，达到每小时量产125片12吋晶圆，下一阶段5纳米技术节点以下High-NA EUV已经在布局研究。
ASML光刻机工作原理简图。 问：现在中国市场业务布局与销售情况如何？ 2017年全年长大幅度与2018年的增长率预估？ 答：全球半导体行业版图位移，不仅本地晶圆厂，包括国际晶圆厂也在增加中国投资，ASML预期，中国光刻机市场规模具30亿欧元潜力。总体而言，现在ASML在中国市场的装机量累积已达约500台，2018年可望续增超过50台的装机量。不仅一线大客户，还涵盖许多中、小型晶圆厂共计多达40多家客户。 从销售额轨迹来看，中国市场销售额在2013-2015年维持持平，2016年微幅长大至6亿欧元，2017年上半年中国市场销售水平已达4亿欧元，因此今年将较去年将有显著增长。由于中国晶圆厂2018-2019年连续投入资本扩充产能，ASML 2018年销售很可能创下中国区销售新高的纪录，而2019年也会连续呈现更显著的跳跃式增长。 ASML一直秉持“客户在哪里就走到哪里”，现在在中国已经各地设立11个销售与服务据点包括新成立的南京分公司，明年初可能在成都设立分公司进一步深化服务当地客户。 为了强化客户服务与中国客户深度合作关系，ASML也不断壮大营运团队，总部于上海、北京与深圳设立研究中心，全中国员工近600名，今、明两年会连续扩大团队，吸纳优秀人才，并与科研机构展开深度研究合作与人才培训。 对于中国客户来说，单纯只添购设备、运用设备已经不够以满足其需要，提供深度而全方位地光刻搞定方案(Holistic lithography solution)与客户携手开展强化微缩技术与优化良率的制程调控，才能符合中国客户的深度需要。 |
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