MEMS 光栅应用测试--功率放大器

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MEMS（微机电系统）是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。Aigtek功率放大器可来驱动各种MEMS系统器件，常见的产品有 MEMS 麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS 光学传感器、MEMS 压力传感器等等。

MEMS 光栅应用测试：

MEMS 光栅采用了硅微加工工艺技术，在外力作用下使光栅的某些特征参数（如周期、光栅等常数）发生改变，从而实时改变光栅的工作性能，实现光栅的可编程应用。MEMS 光栅具有多种驱动方式，而静电驱动的 MEMS 光栅，由于其工艺易于实现、耗能低、频率响应高，因此是最常用的驱动方式。

静电驱动的能量密度较小，当结构需要比较大的工作位移（微米级），就必须增大驱动电压，驱动电压甚至达到上百伏。Aigtek功率放大器可输出200Vpp~1600Vpp 的电压范围，40mA~500mA 的电流输出能力，是可以满足新型的 MEMS 相关应用的动态驱动测试。MEMS光栅基于其独特的优势，MEMS 光栅已经用于光通信、高清显示设备、光谱分析等领域。

ATA-2000 系列功率放大器，可以输出理想的单端及差分信号，为 MEMS 领域的研究提供了快捷的工具。同时该系列功率放大器，设计了良好的过压，过流，短路保护装置，同时为了更好的为 MEMS 测试客户应用，提供的完善的阻抗匹配网络，方便用户选择对应的匹配阻抗。

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ATA-2042功率放大器是Aigtek公司生产的宽频双通道高压电源产品，电压范围（0-400Vpp），具有稳定的输出电压、电流、双通道同步输出等特点，同时具有过流、过温保护功能。适用于驱动高压型负载，可放大交、直流信号，输出电流100mA，电压增益数控0~60倍可调，液晶屏幕显示，一键保存常用设置，可与任意品牌信号发生器配套使用，实现任意波形信号的完美放大。

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