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发表于 2013-6-3 11:01:53
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测量在半导体衬底上设置的电感器的电感值的电感值测量方法,其特征在于:包括:对其主电极与上述电感器的一端连接的控制晶体管的控制电极以恒定的周期施加电压,使电流脉冲流过上述电感器的步骤;借助于与上述电感器的另一端连接的第1测量系统,测量在上述电流脉冲的上升和下降期间流过的电流的步骤;以及借助于经电阻与上述控制晶体管的上述主电极连接的第2测量系统,测量在上述电流脉冲的上升和下降期间流过的电流的步骤,上述第1测量系统包括:测量在上述电流脉冲的上升期间流过的电流的第1测量线;以及测量在上述电流脉冲的下降期间流过的电流的第2测量线,上述第2测量系统包括:测量在上述电流脉冲的上升期间流过的电流的第3测量线;以及测量在上述电流脉冲的下降期间流过的电流的第4测量线,通过将流过上述电感器的电流分离成在上述电流脉冲的上升期间流过的电流和在下降期间流过的电流进行测量,来测量上述电感器的电感值 |
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