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坚果R1手机1TB手机闪存改变世界？别急1.5T马上就到 图1 推动容量上升的是3D闪存的堆叠层数。Toshiba估计96层3D闪存就可以提供768Gb的单晶粒容量，辅以叠Die技术即可实现单颗1.5T的闪存。
坚果R1手机1TB手机闪存改变世界？别急1.5T马上就到 图2 最近在日本举行的国际储存研讨会上，来自使用材料公司的Sean Kang介绍了未来3年内3D闪存的技术演进路线。今年年底实现90层以上堆叠，到2020年实现大于120层堆叠，2021年可实现大于140层堆叠。
坚果R1手机1TB手机闪存改变世界？别急1.5T马上就到 图3 当然就如同平地建起的大厦一样，没有牢固的根基是无法稳定的拔地而起。随着堆叠层数的增加，3D闪存堆叠高度增长将会给蚀刻技术带来挑战。为应对这一挑战需要压减3D闪存中字线和绝缘膜的厚度，抑制闪存单元堆叠高度的升高速度。
坚果R1手机1TB手机闪存改变世界？别急1.5T马上就到 图4 要压减高度的目的，需要在材料和工艺上取得新的突破。而日本恰恰在基础材料研究上拥有优势，就我们所知的英特尔年度供应商奖名单中，提供材料技术支持的日本企业占据半壁以上江山。
坚果R1手机1TB手机闪存改变世界？别急1.5T马上就到 图5 就现在的计划来看，闪存制造企业需要克服工艺与材料瓶颈，将字线与绝缘的叠层高度从70nm一步步压低到45-50nm，才能实现大于140层的堆叠高度。除此之外，英特尔/美光已经在他们的第二代64层堆叠3D闪存中使用了CuA（CMOS under Array）技术，这有可能成为未来3D闪存的标配，它是将外围电路置于储存单元阵列之下，进一步提升储存密度。据美光透露，该技术在64层堆叠水平下可提供高达25%的空间节省率，这意味着更低的单位容量成本和更大的闪存容量。
坚果R1手机1TB手机闪存改变世界？别急1.5T马上就到 图6 |
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